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压差传感器无法避免的误差有哪些?

  压差传感器无法避免的误差有哪些?

  

压差传感器


  1.偏移量误差

  因为压差传感器在整个压力范围内垂直偏移坚持恒定,因而变换器扩散和激光调节修正的改变将发生偏移量误差。

  2。灵敏度误差

  发生误差大小与压力成正比。假如设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。假如灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的发生原因在于扩散进程的改变。

  3.线性误差

  这是一个对压差传感器初始误差影响较小的要素,该误差的发生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的压差传感器,还应包含放大器的非线性。线性误差曲线可所以凹形曲线,也可所以凸形曲线。

  4.滞后误差

  在大多数景象中,压差传感器的滞后误差完全能够忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力改变很大的景象中考虑滞后误差。

  压差传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能挑选高精度的生产设备,利用高新技术来降低这些误差,还能够在出厂的时候进行一定地误差校准,尽最大的可能来降低误差。

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